Yarımkeçirici sənayesinin sürətli inkişafı ilə sənayenin miqyası sürətlə artmış və yarımkeçirici istehsal avadanlıqları dəqiqliyə və mürəkkəbliyə doğru inkişaf etməyə davam etmişdir. Keramika yüksək sərtlik, yüksək elastiklik modulu, yüksək aşınma müqaviməti, yüksək izolyasiya, korroziyaya davamlılıq, aşağı genişlənmə və s. üstünlüklərinə malik olduğundan, silikon cilalama maşını, epitaksial/oksidləşmə/diffuziya istilik emalı avadanlığı, litoqrafiya maşını, çökmə avadanlığı, yarımkeçirici aşındırma avadanlığı, ion implantasiya maşını və digər avadanlıqların hissələri kimi istifadə edilə bilər, buna görə də dəqiq keramika hissələrinin tədqiqi, inkişafı və istehsalı yarımkeçirici sənayesinin inkişafına birbaşa təsir göstərir. Onun hazırlanmasının texniki tələbləri getdikcə artır.
Yüksək təmizlikli alüminium oksidi, 99.7%-99.9% alüminium oksidi.
Yüksək mexaniki möhkəmlik, yüksək aşınma müqaviməti, yüksək elektrik izolyasiyası, yüksək kimyəvi stabillik, yaxşı istilik müqaviməti və korroziyaya davamlılıq. Hazırda keramika üyütmə disk üyütmə yarımkeçirici silikon lövhənin istifadəsi ən üstün və qabaqcıl üyütmə üsuludur. Kəsilmiş silikon lövhəni üyütmək üçün iki tərəfli üyütmə prosesi istifadə olunur və üyütmə prosesini (disk materialı, üyütmə mayesi, üyütmə təzyiqi və üyütmə sürəti və s.) təkmilləşdirməklə üyütmə lövhəsinin keyfiyyəti artırılır. Xüsusilə, lövhənin əsas səthində çapıq və ya çirklənmə nəticəsində üyüdülmənin qarşısını almaq üçün çuqun lövhələr əvəzinə keramika lövhələrin istifadəsi metal ionlarının daxil olmasını azaldır, silikonun sonrakı emalını azalda bilər, sonrakı prosesin (korroziya) müddətini qısaldır, istehsal səmərəliliyini artırır və silikon emal itkisini azalda bilər, silikonun istifadəsini xeyli yaxşılaşdırır.
Yüksək alüminium təbəqə cilalama lövhəsiyarımkeçirici, neft, kimya, fotovoltaik, maye kristal və mexaniki hissələr, elektron hissələr, mikrodalğalı induksiya diski, izolyasiya materialları və digər hissələr, yarımkeçirici cihazlar, vakuum avadanlığı, maye kristal istehsal avadanlıqları və digər hissələr kimi digər sahələrdə istifadə olunur. Böyük ölçülü və yüksək təmizlikli alüminium keramika sapfir sənayesində və yarımkeçirici çip sənayesində mühüm tətbiq dəyərinə malikdir. Safir və yarımkeçirici silikon lövhələrin kimyəvi mexaniki cilalanması (CMP) üçün əsas dəstək və istehlak materialıdır. Böyük ölçülü və yüksək təmizlikli alüminium keramika həmçinin LCD üçün alüminium substrat kimi istifadə edilə bilər.
Yazı vaxtı: 27 iyun 2024